Fotoresist polimer dağılımının kontrolü

                                                    Fotoresist polimer dağılımının kontrolü

1Doğru monomeri ve inisiyatörü seçin.

Fotoresist için gerekli özelliklere bağlı olarak, monomerlerin seçimi polimerin dağılımını kontrol etmek için kritiktir.Poly ((hydroxystyrene-r-1-methyladamantyl metakrilat) (PHS-r-PMAdMA) sentezinde, asetoxystiren (AHS) ve 2-metakriloyloxy-2-metyladamantan (MAd-MA) monomer olarak seçilir.ve polimerin kimyasal kompozisyon dağılımı, monomerlerin oranını ve reaksiyon koşullarını kontrol ederek etkilenebilir..

Farklı monomer oranları, polimerin kimyasal bileşim dağılımını doğrudan etkileyecektir.En iyi monomer oranı ideal polimer özelliklerine ve dağılımına ulaşmak için belirlenirÖrneğin, PHS-r-PMAdMA sentezlenirken, hidroksistiren ve metiladamantil metakrilat oranını ayarlayarak, farklı kimyasal kompozisyon dağılımlarına sahip polimerler elde edilebilir.ki bu da fotoresistlerin performansını etkiler..

Başlatıcının türü ve miktarı, polimerizasyon reaksiyonunun ilerlemesini ve polimerin moleküler ağırlık dağılımını da etkileyecektir.Farklı girişimcilerin farklı girişim faaliyetleri ve seçicilikleri vardır, bu da polimerizasyon reaksiyonunun hızını ve polimerin moleküler ağırlık dağılımını etkileyecektir.Uygun bir başlatıcı polimerizasyon reaksiyonunun hızını ve seçiciliğini kontrol edebilir.Örneğin, bir azo başlatıcısı (V601) kullanıldığında,Polimerin moleküler ağırlığı, dozunu ayarlayarak belli ölçüde kontrol edilebilirBaşlatıcı miktarı polimerizasyon reaksiyonunda önemli bir etkiye sahiptir. Çok az başlatıcı eksik bir reaksiyona neden olabilirken, çok fazla başlatıcı yan reaksiyonlara neden olabilir.Daha geniş bir moleküler ağırlık dağılımına neden olurPolimerizasyon reaksiyonunun etkili ilerlemesini ve moleküler ağırlık dağılımının tekdüzeliğini sağlamak için en uygun inisiyatör miktarı deneyler yoluyla belirlenir.

2Polimerizasyon reaksiyon koşullarını kesin bir şekilde kontrol edin.

Reaksiyon sıcaklığı polimerlerin moleküler ağırlık dağılımına önemli bir etkiye sahiptir.Daha yüksek reaksiyon sıcaklıkları, yüksek sıcaklıklarda polimerizasyon oranının arttığı için moleküler ağırlık dağılımının genişlemesine neden olabilir.Reaksiyon sürecinde sıcaklık istikrarını ve tekdüzeliğini sağlayın.Sıcaklık dalgalanmaları tutarlı olmayan polimerizasyon oranlarına neden olabilir, böylece moleküler ağırlık dağılımını etkiler. Sabit sıcaklıklı yağ banyosu veya ısıtma pelerini gibi yüksek hassasiyetli sıcaklık kontrol cihazları kullanın.istikrarlı ve tekdüze bir reaksiyon sıcaklığını korumak için sıcaklık sensörleri ve geri bildirim kontrol sistemleri ile donatılmıştır.

Reaksiyon süresi de önemli bir faktördür.Uygun reaksiyon süresi, aşırı reaksiyonun neden olduğu eşit olmayan moleküler ağırlık dağılımını önlerken polimerizasyon reaksiyonunun tam olarak ilerlemesini sağlayabilir.Gel permeasyon kromatografi (GPC) veya nükleer manyetik rezonans (NMR) ve diğer teknolojiler gibi uygun izleme yöntemlerini kullanın.Gerçek zamanlı olarak polimerizasyon reaksiyonunun ilerlemesini izlemek içinİzleme sonuçlarına göre, polimer dağılımının beklenen şekilde olmasını sağlamak için reaksiyon süresi zamanında ayarlanır.

Solvent seçimi de aynı derecede önemlidir. Farklı solventlerin monomerler için farklı çözünürlüğü vardır. Örneğin, bazı fotoresist polimerleri sentezlerken, solventlerin solvenliği farklıdır.Solventin monomer için düşük çözünürlüğü varsa, çözeltideki monomer moleküllerinin difüzyon hızı yavaşlar, bu da yerel monomer konsantrasyonunun çok yüksek veya çok düşük olmasına neden olabilir.polimerizasyon reaksiyonunun tekdüzeliğini etkileyenÖrneğin, dioksanın çözücü olarak kullanılması polimerizasyon reaksiyonu için uygun bir ortam sağlayabilir.polimerin moleküler ağırlığını ve kimyasal bileşim dağılımını kontrol etmeye yardımcı olan.

3Yağış ve Çekim Metotları

Yağışlama yaygın olarak kullanılan bir arıtma yöntemidir. Örneğin, PHS-r-PMAdMA sentezinden sonra,Bazı reaksiyona girmemiş monomerler ve kirlilikler, yağış için reaktiflere heksan ekleyerek çıkarılabilir., böylece polimerin dağılımının saflığını ve tekdüzeliğini arttırır.

Ekstraksiyon da önemli bir yöntemdir. sentez sürecinde, ekstraksiyon için reaktanlara etil asetat ekleyerek,Hedef polimer ayrılabilir ve polimerin dağılımı daha da optimize edilebilir.